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站内全文搜索“原子力显微镜”射频等离子体制备类金刚石薄膜及其表征 2009-11-01 18:13 Tag： 射频等离子体 类金刚石薄膜 粗糙度 拉曼光谱 显微硬度计 复合硬度 原子力显微镜 表面形貌 制备 高质量 Blog： scinet 采用射频等离子体技术,以CH4和H2为反应气体,在单晶硅片和载玻玻璃片上成功制备出了高质量的类金刚石薄膜.采用扫描电镜、原子力显微镜、Raman光谱、红外光谱、显微硬度计表征了类金刚石薄膜的表面形貌、微观结构、光学性能和复合硬度.结果表明,制备出的类金刚石薄膜表面十分平整光滑,表面粗糙度极低,平均粗糙度Ra为0.492 nm;薄膜中含有sp2,sp3杂化键,具有典型的类金刚石结构特... 掺锶对钛酸铅薄膜结晶性能的影响 2009-11-01 17:14 Tag： 钛酸锶铅 薄膜 溶胶-凝胶 晶胞参数 退火温度 掺入量 结晶性能 原子力显微镜 掺杂量 晶胞体积 Blog： scinet 钛酸锶铅(PST)薄膜是一类重要的铁电薄膜材料。采用溶胶-凝胶法在硅(100)衬底上制备了钛酸锶铅薄膜。利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等表征手段,表征了不同锶掺杂量及不同退火温度对薄膜结晶性能的影响。通过实验发现:锶掺杂对薄膜的微观结构和表面形貌有重要的影响。由XRD谱图发现,随着锶掺入量的增加,Pb1-xSrxTiO3薄膜中的晶轴比、晶胞体积都逐渐减小,晶化温度... |
